Bomba de vácuo de alto desempenho para aplicações em semicondutores

Adequada para processos de média a alta intensidade, como gravação a seco (etching), deposição física de vapor (PVD), deposição química de vapor (CVD) e difusão, esta bomba apresenta alta velocidade de bombeamento, alta eficiência, baixo ruído, longa vida útil e fácil manutenção. O motor refrigerado a água, desenvolvido internamente e equipado com um inversor de frequência totalmente automático, maximiza o torque para atender aos requisitos de processos exigentes. O design do motor, com refrigeração a água e vedação integral, elimina o risco de vazamento de óleo. O sistema de controle inteligente permite o acionamento e desligamento com um único botão no painel, utilizando programação inteligente. Ele realiza automaticamente a purga da câmara da bomba durante o desligamento e permite controle e monitoramento remotos por meio de interface de E/S externa e RS485 (protocolo Modbus). Um revestimento anticorrosivo de TEFLON aumenta a resistência à corrosão, tornando-a adequada para processos exigentes.

Setores de aplicação: Energia fotovoltaica, semicondutores, baterias de lítio, painéis, institutos de pesquisa